成都鑫南光機械設備有限公司帶(dài)大(dà)家一起來看一下成都真空鍍膜(mó)機的參(cān)數:
一(yī)、真空(kōng)鍍膜機主(zhǔ)要用途:
供製備薄膜無源微型元件。
二、主要技術指標:
1. 蒸發室極限真空度: 4×10-4Pa
2. 蒸(zhēng)發室恢複4×10-3Pa的時間: ≤15min
3. 基片旋轉架的轉速: 0~60n/min
4. 基片烘烤溫度: 室溫~350℃
5. 蒸發電極(jí)數量(liàng): 3對
6. 蒸(zhēng)發電極(jí)參數: 0~10伏 0~300A
7. 離子轟擊參數: 0~3000伏 0~200mA
8. 鍾罩容積: Φ500×620(mm)
9. 需要動力: 電力 10KW
10. 外形尺寸: 1300×830×1720(mm)
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