成都精密光刻机的主要用（yòng）途和（hé）主要性能指标：

1、 主要（yào）用途：

（1） 这是一台双面对准单面曝（pù）光的（de）光刻机；

（2） 这台机器又能完成普通光刻机的任何工作；

（3） 同时又是一（yī）台检查双面对准（zhǔn）精度的检查仪。

2、 主（zhǔ）要性能（néng）指标：

（1） 高均匀性蝇眼曝（pù）光头。

a、 采用350W直流球形汞（gǒng）灯（dēng）；

b、 出射光斑≤φ116mm；

c、 光强≤15mw；

d、 光的不（bú）均匀性≤±3%；

e、 光强（qiáng）度可通过光阑或汞灯电流调节，3～15mw任（rèn）意调节（jiē）；

f、 曝（pù）光时间采用0～999.9秒（日本（běn）OMRON生产）时间继电器控制。

g、 对准（zhǔn）精（jīng）度：±0.5μm

h、 套刻精度：1μm

（2） 观察系统为上下各两个无级变倍、高分（fèn）辨率单筒显微镜（jìng）上装四个CCD摄像头通（tōng）过视屏线连接计算机到19″高（gāo）清液晶显（xiǎn）视屏上。

a、 单筒显（xiǎn）微镜为0.7X～4.5X连续变倍显微镜；

b、 CCD摄像机靶面对（duì）角线尺寸为：1/3″,6mm；

c、 采用19″液晶监（jiān）视器，其数字放大倍（bèi）率（lǜ）为17×25.4/6=72倍；

d、 观（guān）察系统放大倍数为：0.7×72=50.4倍（*小倍数）

4.5×72=324倍（*大倍数）；

e、右表板上有（yǒu）一视（shì）屏转换开关：向左（zuǒ）为下二个CCD，向右为上（shàng）二（èr）个（gè）CCD。

（3）计算（suàn）机硬软件系统：

a、鼠标单（dān）击“开始对（duì）准”，能（néng）将监视屏上的图形记忆下来，并处理成透明的，以便对新进入的图形进行对准；

b、鼠标双击左（zuǒ）面或右面图形，就（jiù）分别全（quán）屏显示左或右面图形。

（4）非（fēi）常特殊（shū）的板（bǎn）架装（zhuāng）置：

a、该装置能分别装入（rù）100×100板架或125×125板架，对版（bǎn）进（jìn）行真空吸附；

b、该装置安装在机座上，能围绕A点作翻转运动，相对于承片台而言作上下翻转运动，以便于上下版和上下片；

c、该装置（zhì）来回反复翻转，回到承片台上平面的位置，重（chóng）复精度为（wéi）≤±1.5μ；

d、该装置具有（yǒu）补偿基片楔形误差之功能，**版下平面与片上平面之良好接触，以便提高曝光质量。

（5）承（chéng）片台调（diào）整装置：

a、 配（pèi）备有Φ75、Φ100承片台各一（yī）个（gè），这二种承片台（tái）有二个长方孔，下面二（èr）个CCD通过该（gāi）孔能观察到版或片（piàn）的下平面；

b、 承片台能作X、Y、Z、θ运（yùn）动，X、Y、Z可作±5mm运动，θ运动为（wéi）±5°；

c、 承片台密着环相对于版，能实现“真空密着”：

真空密着力≤-0.05Mpa为硬接（jiē）触；

真空密（mì）着力≤-0.05Mpa～-0.02Mpa为软接触；

真空密着力≤-0.02Mpa为微力接触；

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