四川（chuān）光刻機（jī）之（zhī）G-25XA型高精密光刻機的產（chǎn）品介紹：

一、 設備的主要用途及特點（diǎn）

本設備主要適用於對Φ100mm以下（xià），厚度為5mm以下的各種基片光刻（包括非常規基片、碎（suì）片及表麵不（bú）平整基片）

二、主要技術指標

1、對準精度：±0.5μm。

2、微動台掃描範圍±20mm，X、Y可調範圍±4mm。

3、承片台上下可移動範圍為5mm，改（gǎi）為旋轉角（jiǎo）度≤90°。

4、采用多點（diǎn）光源曝光頭，光源采用GCQ350Z型（xíng）高壓水銀直（zhí）流汞，風冷，（光強穩定可調，不用頻（pín）繁更換（huàn）汞燈），光（guāng）的（de）不均（jun1）勻性≤±4%(Φ100 mm範圍之內) ，出射光束ΦMAX為Φ120mm。

5、采用雙目分離視場顯微鏡，放大倍數50X×375X(可采用雙CCD加液晶監視器來（lái）顯示，放大倍數30～189X或67.5X～420X)。

成都鑫（xīn）南光機械設備（bèi）有限公司是一家（jiā）專業從事（shì）四川真空（kōng）泵,四川光刻機,四川氫氣（qì）爐生產及銷售批發（fā）工作的企業,谘詢電話:13908187709,028-85730519,擁有（yǒu）專 業的技術（shù）裝備和獨（dú）特的設計,具有豐富的專用設備裝配調試技術和經驗（yàn）。