成都精密光刻機的主要用途和（hé）主要性能指標：

1、 主要用途：

（1） 這是一台雙麵對（duì）準單（dān）麵曝光的光（guāng）刻機；

（2） 這台機器又能完成普通光刻機的任何工作（zuò）；

（3） 同時又（yòu）是一台檢查雙麵對準精度（dù）的檢查儀。

2、 主要（yào）性能指（zhǐ）標：

（1） 高均勻性（xìng）蠅（yíng）眼曝（pù）光頭。

a、 采（cǎi）用350W直流球形（xíng）汞燈；

b、 出（chū）射光（guāng）斑≤φ116mm；

c、 光強≤15mw；

d、 光的不均勻性≤±3%；

e、 光強（qiáng）度可（kě）通過光（guāng）闌或汞燈電流調節，3～15mw任（rèn）意調（diào）節；

f、 曝光（guāng）時間采用0～999.9秒（日（rì）本OMRON生產）時間（jiān）繼電器控製。

g、 對（duì）準精度：±0.5μm

h、 套刻精度：1μm

（2） 觀察係統（tǒng）為上下各兩個無級變倍、高分辨率單筒顯微鏡上裝（zhuāng）四個CCD攝像頭通過視屏線連接計算機到19″高清液晶顯視屏上。

a、 單筒顯微（wēi）鏡為0.7X～4.5X連續（xù）變倍顯微（wēi）鏡；

b、 CCD攝像機靶麵對角線尺寸為：1/3″,6mm；

c、 采用19″液晶監視（shì）器，其數字放大倍率為17×25.4/6=72倍；

d、 觀察係統放大倍數為：0.7×72=50.4倍（*小倍數）

4.5×72=324倍（*大倍數）；

e、右表板上有一視屏轉換開關：向左為下二個CCD，向右（yòu）為上二個CCD。

（3）計算機硬軟件（jiàn）係（xì）統：

a、鼠（shǔ）標單擊“開始（shǐ）對準”，能將監視（shì）屏上的圖（tú）形記憶下來，並處理成透明的，以便對（duì）新進入的圖形進行對準；

b、鼠標雙（shuāng）擊左麵或右麵（miàn）圖形，就分別全屏顯示左或右麵圖形。

（4）非常特（tè）殊的板架裝置：

a、該裝（zhuāng）置能分別裝入（rù）100×100板架（jià）或125×125板架，對版進（jìn）行真空吸（xī）附；

b、該裝置（zhì）安裝在機（jī）座（zuò）上，能圍繞A點作翻轉運動，相對（duì）於承片台而言作上下翻轉運動，以便於上下版和上下片；

c、該裝置來回反（fǎn）複（fù）翻轉，回到承片台上平麵的位置，重複精（jīng）度（dù）為≤±1.5μ；

d、該裝置具有（yǒu）補（bǔ）償基片楔形誤差（chà）之功能，**版下平麵與片上平麵之良好接觸，以便提（tí）高曝光質量。

（5）承片（piàn）台調整裝置：

a、 配備有Φ75、Φ100承片台各一個，這二（èr）種承片台有二個長方孔，下麵二個CCD通過該孔能觀（guān）察到版或片的下平麵；

b、 承片台能（néng）作X、Y、Z、θ運動（dòng），X、Y、Z可作±5mm運動，θ運動為（wéi）±5°；

c、 承片台密著環相對於版，能實現（xiàn）“真空密著”：

真空密著力≤-0.05Mpa為硬接觸；

真空（kōng）密著力≤-0.05Mpa～-0.02Mpa為軟接觸（chù）；

真（zhēn）空密著力（lì）≤-0.02Mpa為微力接觸；

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