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光刻機的選擇使用需要注意很多事項,下麵就隨著成(chéng)都鑫南光機械設備有限(xiàn)公司一起來看看吧!
光刻(kè)機一般來說是用激光。例如要在(zài)玻璃上刻蝕圖形,步驟為:清(qīng)洗玻璃、幹燥、在(zài)玻璃上塗覆光致抗蝕劑(jì)、幹燥、曝(pù)光、去膠(jiāo)、清洗、轉移。實(shí)際上,光刻(kè)機的使用方法和(hé)具體步驟相當複雜,對環境要求也非常高,以上隻是基本步(bù)驟,讓你有一個大(dà)致的了解(jiě)。但是市麵上(shàng)的品牌眾多,要怎麽去選擇呢?成(chéng)都鑫南光(guāng)機械設備有限公司幫你分析;
光刻機的品牌眾多,根據采用不同技(jì)術路線的(de)可以歸納成如下幾類:
高端的投影式光(guāng)刻機可分為步進投(tóu)影和掃描投影光刻機兩種(zhǒng),分辨率通常在(zài)十幾(jǐ)納米至幾微米之間,高端光刻機號稱(chēng)**上*精密(mì)的儀器,**上已有7000萬(wàn)美金的光刻機。高端光刻機堪稱現代(dài)光學工業之花,其製造難度之大,全**隻有少數幾(jǐ)家公司(sī)能夠製造(zào)。國外品牌主要以荷蘭ASML(鏡頭(tóu)來自德國),日本Nikon(intel曾經購買過Nikon的高端(duān)光刻機)和日本Canon三大品牌為主(zhǔ)。
位於我國上海的SMEE已研(yán)製出具有自主知識產權的投影式中端光刻機(jī),形成產(chǎn)品係列初步實現海內外銷(xiāo)售。目前正在進行其他各係列產品的研發製作工作。
生產線和研發用(yòng)的低端光(guāng)刻機為接近、接觸式光刻機,分辨(biàn)率通常在數微米(mǐ)以上。主(zhǔ)要有德國SUSS、美國MYCRO NXQ4006、以及中國品(pǐn)牌。
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