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怎樣正確選擇四川真空泵?

發布時間: 2020-06-20 來源:

在選擇(zé)四川真空泵時,91视频网站應該注(zhù)意哪些要求,鑫南光來告訴(sù)您!

1、真空泵的(de)價格、運轉(zhuǎn)及維修費用。

2、真空泵的工作壓強應(yīng)該滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求。如:某真空幹燥工藝要求10mmHg的工作真空度(dù),選用的真空泵的極限真空度至(zhì)少要2mmHg,*好(hǎo)能達到1mmHg。通常選擇泵的極限真空(kōng)度(dù)要高於真空設備工作(zuò)真空度半個到一個數量級。

3、真空泵在其工作壓強下,應能排(pái)走真空設備工藝過程(chéng)中產生的全部氣體量。

4、正確地選(xuǎn)擇真空(kōng)泵的工作(zuò)點。每種泵都有一定(dìng)的工作壓(yā)強範圍,如:2BV係列水環真空泵(bèng)工作(zuò)壓強範圍760mmHg~25mmHg(絕壓),在這樣寬(kuān)壓強範圍內,泵的(de)抽速隨壓(yā)強而變化(詳細變化情況參照泵的性能曲線),其穩定的工作壓強範圍為760~60mmHg。因而,泵的工作點應該(gāi)選在這個範圍之內較為(wéi)適宜,而不能讓它在25~30mmHg下長期工作(zuò)。

5、正確地組合真空泵(bèng)。由於真空(kōng)泵有選擇性(xìng)抽氣,因而(ér),有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補(bǔ)充(chōng)才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵(bèng)對氫有很高的抽速,但(dàn)不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對稱陰極濺射(shè)離子泵)對氬有一定的抽(chōu)速,兩者組合(hé)起(qǐ)來,便會使真空裝置得到(dào)較(jiào)好的真空度。另外,有的真空泵(bèng)不能在大氣壓(yā)下工作,需要預真空(kōng);有的真空泵出口壓強低於大氣壓,需要(yào)前級泵(bèng),故都(dōu)需要(yào)把泵(bèng)組合起來使用。

四川真空泵(bèng)

6、真空設(shè)備對油汙染的要求。若設備嚴格要求無油時,應該(gāi)選各種無油泵,如:水環泵、分子篩吸附(fù)泵、濺射離子泵、低(dī)溫泵等。如果要求不嚴格,可以選擇有油泵,加上一些(xiē)防油汙染措(cuò)施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能(néng)達到清潔真空要求。

7、真空(kōng)泵工作時產生的振(zhèn)動對工藝過程(chéng)及環境有無影響。若工(gōng)藝過程不允許,應選擇無(wú)振動的泵或者采取防振動措施。

8、了解被(bèi)抽氣體(tǐ)成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無顆(kē)粒灰塵,有無腐蝕性等。選擇真空(kōng)泵時,需要知道氣體成分,針對被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體(tǐ)中(zhōng)含有蒸氣、顆粒(lì)、及腐蝕性氣體,應該考慮在泵(bèng)的進氣口管路上(shàng)安裝輔助設備,如(rú)冷凝器、除塵器等。

9、真空(kōng)泵排出來的油蒸氣對(duì)環境的影響如何(hé)。如果環境不允(yǔn)許有(yǒu)汙染,可以選無油真空泵,或者把油蒸氣排到室外。

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四川光刻機(jī)

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