四川光刻機（jī）之G-25XA型高精密光刻機的（de）產品介（jiè）紹：

一、 設備的主（zhǔ）要用途及特點

本設備主要適用於對（duì）Φ100mm以下，厚度為5mm以下的各種基片光刻（包括非常規基片、碎片（piàn）及表麵（miàn）不平整基片）

二、主要技術指（zhǐ）標

1、對準精度：±0.5μm。

2、微動（dòng）台掃描範圍±20mm，X、Y可調範圍±4mm。

3、承（chéng）片台（tái）上下可（kě）移（yí）動範（fàn）圍為5mm，改為旋轉角度≤90°。

4、采用（yòng）多點光源（yuán）曝光頭，光源（yuán）采用GCQ350Z型高壓水銀直流汞（gǒng），風（fēng）冷，（光強（qiáng）穩定可調，不用頻繁更換汞燈），光的（de）不均勻性≤±4%(Φ100 mm範圍之內) ，出射（shè）光束ΦMAX為Φ120mm。

5、采用雙目分離視場顯微鏡，放大倍數50X×375X(可采用雙CCD加液晶監視器來顯示，放大倍數30～189X或67.5X～420X)。

成都鑫南光機械（xiè）設備有限公司是一家專（zhuān）業從事四川真空泵,四川光刻機,四川氫氣爐生產及銷（xiāo）售批發（fā）工作的企業,谘（zī）詢電話:13908187709,028-85730519,擁有專 業的（de）技術裝備和獨特的設計,具有豐富的專用設備裝配調試（shì）技術和經驗。