G-25XA型（xíng）高精密光刻機

設備概述:

本設備是我公司（sī）專（zhuān）門針對各大專院校及科研單位（wèi）對光刻機（jī）的使用特性研（yán）發的一種精密光（guāng）刻機，它主要用（yòng）於中小規模集成電路、半導體元器（qì）件（jiàn）、光電子器（qì）件、聲表麵波（bō）器件的研製和（hé）生產（chǎn）。

主要構成
主要由高精度對（duì）準工作台、雙目（mù）分離視場CCD顯微顯示（shì）係統、GCQ350Z型高壓水銀直流汞、氣動係統、真空管路係統、直聯式（shì）真空泵、防震工作台和附件箱等（děng）組成。<span style="font-family:" font-weight:normal;"="">

多點光（guāng）源（蠅眼）
可調（diào）光強的光欄（lán）

三點找平機構
高（gāo）精度X、Y、Z、Q調節機構

主要功能特點

1.適用範圍（wéi）廣
  適用於Φ100mm以下，厚度5mm以下的各種基片(包括（kuò）非圓形基片)的對準曝光（guāng）。
  2.結構（gòu）穩定
  具有氣浮式找（zhǎo）平機構和可實現真空硬接觸、軟接觸（chù）、微力接觸的真空密著（zhe）機構；具有真空掩膜版架、真空片吸盤。
  3.操作簡（jiǎn）便
  采用翻板方式取片、放片；按鈕、按鍵方式操作，可（kě）實現真空吸版、吸片、吸浮球、吸掃描鎖等功能，操作、調試、維護、修理都非常簡便。
  4.可靠性高
  采用進（jìn）口（日本產）電磁閥、按鈕、定時器；采用獨特的氣動係（xì）統、真空管路係（xì）統和精密的機械零件，使本（běn）機運行具有非常高的可靠性。
  5.特設功能
  除標準承片台（tái）外，還（hái）可以（yǐ）為用戶定製專用承片台，來解決非圓（yuán）形基片、碎片和底麵不平的基片造成的版片分離不開所引（yǐn）起的（de）版片無法對準的問題

主要技術（shù）指標（biāo）

1、設備能真空吸附5"×5"方形掩板,對版的（de）厚度無特（tè）殊要求。

2、設備能適用於Φ100mm圓形基片（或100×100mm方形基（jī）片），基片厚度≤5mm,當您的基片厚度≤1mm時，我公司為本機配置標準（zhǔn）承片台（不另計（jì）費（fèi）），當基片厚度＞1mm時，設備（bèi）需配置專用承片台（訂（dìng）貨時用戶須說明，費用（yòng）另議）。

3、照明：

光（guāng）源：GCQ350Z型高壓水銀直流汞。

照明範圍：≤ф117mm曝光麵積：Φ100mm

在Φ100mm範圍內,曝光不均勻性≤±4%，曝光強度：≥5mw/cm²（此指標用紫外光源I線365nm測量）。

4、本（běn）設備采用進口（kǒu）時間繼（jì）電器控製氣動快門（mén），動作準確、可靠。

5、本機為接觸式曝光機，可實現：

（1）硬接觸曝光：用管道真空來獲得高真空接觸，真空≤-0.05MPa。

（2）軟接觸曝光：接觸壓力可將真空降到-0.02MPa～-0.05MPa之（zhī）間。

（3）微（wēi）力接觸（chù）曝光：小於軟接（jiē）觸，真空≥-0.02MPa。

6.曝光分辯率：本（běn）設備硬接（jiē）觸曝（pù）光的分辨度可達2μm以上。

7.對準：觀察係統為兩個單筒顯微鏡上裝二個CCD攝像頭（tóu），通過視屏線連（lián）接到（dào）顯視屏上。

成都（dōu）鑫南光（guāng）機械設（shè）備有限公司是一（yī）家專業從（cóng）事四川真空泵,四川光刻機,四川氫氣爐生產及銷（xiāo）售批發工作的企業,谘詢電話:13908187709,028-85730519,擁有技術裝備和獨特的設（shè）計,具有豐富的專用設備裝配調試技術和經驗。