G-43B6型高精密單麵光刻機

產品介紹：

設備概述:

本設備（bèi）是我公司根據市場需求研發的產品，通常情況下可曝光基片尺寸為：Φ6"，對被（bèi）光（guāng）刻基片的外形、厚（hòu）度要求較低，可對多種（zhǒng）材料的基片進行光刻，它特別（bié）適用（yòng）做一（yī）次光刻的產品，可製作聲表麵器件、可控矽、小液晶顯示器、傳感（gǎn）器、二極管、園光柵、編碼盤等（děng）。加之光均勻性好（Φ150mm範圍內≤±6%），所以大（dà）大提高了設備的光刻（kè）質量（liàng）

主要構成
主要由防震工作台、高（gāo）均勻（yún）性曝光頭、氣動係統、電氣控製係統、真空管路係統、直聯式真空泵及附件箱等組成。 1. 適用範圍廣Φ150mm以（yǐ）下，厚度(包括非圓形基片

本設備（bèi）配置（zhì）有可實（shí）現真空硬接觸、軟接觸、微力接觸的真空（kōng）密著機構；具有真空掩膜版架、真空片吸盤。3. 操作簡便

采用（yòng）進口電磁閥、按鈕、定時器；采用獨特的氣動係統、真空管（guǎn）路係統（tǒng）和精密的機械零件，使本機具有非常高的可靠（kào）性。5. 特設功能

主要技術參數：

1、操作方式：手動；

2、曝光模式：接觸式曝光；

3、出射光斑≤φ150mm；

4、紫外光源：g線（436nm）或i線（365nm）；

5、光強≥5mw/cm²（i線365nm; h線405nm; g線（xiàn）453nm的（de）組合紫外光）；

6、曝光分辨率：3um；

7、曝光（guāng）頭汞燈（dēng）為GCQ350W型**壓直流球形（xíng）汞燈（dēng）。