91视频网站平時所使用的手機為什麽能夠與外界連接溝通?這得益(yì)於其中的芯(xīn)片。當然芯片的使用不限於手機,還(hái)有91视频网站平時使用的銀行卡、電話卡甚至學(xué)校一(yī)卡通都會使用到芯片。作為芯片的製造設備四川光刻(kè)機。下麵91视频网站(men)先來了(le)解一下使用(yòng)它曝光的三(sān)種方(fāng)式。
接觸式曝光
接(jiē)觸式曝光是將掩膜與待加工基片的光膠層直接接觸(chù)進行的曝光。掩膜和基片通過機械裝置壓緊或通過真空吸住等(děng)方法實現兩者緊密接觸。
優點:設(shè)備簡單、造價便宜、分(fèn)辨率較高(gāo),約1-2μm。由(yóu)於掩膜與光膠層緊密接觸,所以相差小,分辨率高。
缺點:由於掩膜與基片緊密接觸,容易(yì)損壞掩膜與光膠層。
非接觸式曝光
非接觸式曝光是指掩膜和基片上的光膠層不直接接觸實現圖形複印曝光的(de)方法。
優點:克服接觸式曝光容(róng)易損壞掩膜和基片的缺點。
缺點:由於(yú)光的衍(yǎn)射效應會使圖形的分(fèn)辨率下降。
投影式曝光
投影式曝光(guāng)是指掩膜(mó)與基片並不直接接觸,而是以類似投影(yǐng)儀的投影方式(shì)來進行圖形的轉(zhuǎn)移。
優點:曝(pù)光均勻,沒有色差、象差,可進行縮小投影曝光,因此掩膜的尺寸可比(bǐ)基片大很多倍,掩膜中的圖形線條可做(zuò)得較(jiào)粗。
缺點:裝置價格(gé)昂(áng)貴。
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