四川光刻機（jī）是用來製造芯片的，本期小編想給大家（jiā）簡單說一說四川光刻機的工（gōng）作原理與性能指標，感興（xìng）趣的朋友一起來（lái）看看吧！

四川光刻機的工作原理

利用光刻機發出的光通過具有圖形的光罩對塗有光刻（kè）膠的薄片曝光，光刻膠（jiāo）見光後會發生性質變化（huà），從而使光罩（zhào）上得圖形複印到薄片上，從而（ér）使薄片具有電子線路圖的（de）作用。這就（jiù）是光刻的作用，類似照相機照相。照（zhào）相機拍攝的照片（piàn）是印在底片上（shàng），而光刻刻（kè）的不（bú）是照片，而是電路（lù）圖和其他電子元件。

簡單點來說，光刻機就是放大的單反，光刻（kè）機就是將光罩上的設計好集成電路圖形通過光線（xiàn）的曝光印到光感（gǎn）材料上，形成圖形。

四川光刻機的性能指標

光刻機的主要性能指標（biāo）有:支持基片的尺寸範圍，分辨率、對準精度、曝光方式、光源（yuán）波長、光強均勻（yún）性、生產效率等。分辨率是對光刻工藝加工可以達到的Z細線（xiàn）條精度的一（yī）種描述方式。光刻的分辨率受受光（guāng）源衍射的限製，所以與光源、光刻係統、光（guāng）刻膠和（hé）工藝（yì）等（děng）各方麵的限製。

對準精度是在多（duō）層曝光時（shí）層（céng）間圖案（àn）的定位精度。曝（pù）光（guāng）方式分為接觸接近（jìn）式、投影式和直寫式（shì）。

曝光光源波長分為紫（zǐ）外、深（shēn）紫外和j紫外區域，光源有（yǒu）汞燈，準分子激光器等。

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